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Auteurs

 

Damien Prêle

 

Fab­rice Voisin

Article

Circuit Intégré Cryogénique QUBIC :
Conception à 4 Kelvin

Depuis une dizaine d’années le lab­o­ra­toire APC développe une exper­tise spé­ci­fique au sein de l’IN2P3 dans le domaine de la con­cep­tion de cir­cuits inté­grés (ASIC : Appli­ca­tion Spe­cif­ic Inte­grat­ed Cir­cuit) ultra-bas-bruit (0,2 nV/√Hz), opérant en milieu cryo­génique (4,2 K) pour l’intégration de senseurs supraconducteurs.

Contexte du projet QUBIC

La réal­i­sa­tion de l’ASIC “SQMUX128” s’inscrit dans le cadre du pro­jet de cos­molo­gie obser­va­tion­nelle QUBIC. Le détecteur de QUBIC s’ap­puie sur le nou­veau con­cept instru­men­tal qu’est l’in­ter­férométrie bolométrique. Son archi­tec­ture met en œuvre 2 plans focaux de 1024 détecteurs bolométriques cha­cun (voir arti­cle déjà pub­lié sur ce sujet). Ces détecteurs sont refroidis à une cen­taine de mK. Chaque plan focal est sub­di­visé en 8 blocs de 128 détecteurs bolométriques asso­ciés à une élec­tron­ique de lec­ture et de mul­ti­plex­age tem­porel (TDM), elle-même con­sti­tuée de 128 SQUID et d’un ASIC fonc­tion­nant à tem­péra­ture cryo­génique (60 – 70 K). Un mod­ule com­plet de l’instrument QUBIC est com­posé de 16 ASIC (voir image ci-dessous).

Chaine lecture ASICCryo­stat de l’instrument QUBIC : chaque plan focal est con­sti­tué de 1024 TES cha­cun, asso­cié à une élec­tron­ique de lec­ture et de mul­ti­plex­age tem­porel réal­isée à par­tir de SQUID et d’ASIC fonc­tion­nant à tem­péra­ture cryogénique.

ASIC “SQMUX128”

L’amélioration de la sen­si­bil­ité des instru­ments pour l’étude du fond dif­fus cos­mologique (CMB) néces­site le développe­ment de plans focaux dis­posant d’un nom­bre tou­jours plus impor­tant de pix­els. Avec ses deux plans focaux de 1024 bolomètres, l’instrument QUBIC ne déroge pas à cette ten­dance. Une stratégie de mul­ti­plex­age doit donc être mise en œuvre pour per­me­t­tre de réduire le nom­bre de câbles asso­ciés à cha­cun de ces détecteurs TES (Tran­si­tion-edge sen­sor) afin de min­imiser la puis­sance cryo­génique néces­saire pour leur refroidisse­ment et garan­tir l’intégrité des sig­naux à traiter.

Matrice_TES
Archi­tec­ture du mul­ti­plexeur tem­porel con­sti­tué de 4 colonnes de 32 SQUID en série  Blocs fonc­tion­nels implé­men­tés dans l’ASIC “SQMUX128”
Fonc­tions inté­grées dans le cir­cuit SQMUX128

l’ASIC “SQMUX128” réalise le mul­ti­plex­age tem­porel de 4 colonnes de 32 SQUID en série pour la lec­ture de 128 TES. L’ASIC intègre :

- un amplifi­ca­teur de ten­sion ultra bas bruit à 4 entrées mul­ti­plexées pour la lec­ture des 4 colonnes de SQUID ;

- une source de courant pour la polar­i­sa­tion de l’amplificateur multiplexé ;

- une source de courant de polar­i­sa­tion AC asso­ciée à un mul­ti­plexeur 1:32 pour l’adressage des 32 lignes de SQUID au tra­vers de capac­ités d’adressage ;

- deux références de ten­sions pour l’ajustement du mode com­mun en entrée de l’amplificateur mul­ti­plexé et en sor­tie de la source de polar­i­sa­tion AC des SQUID ;

- un cir­cuit numérique qui, à par­tir d’un sig­nal d’horloge externe (fMUX = 100 kHz), per­met de gér­er l’adressage ligne / colonne du multiplexeur ;

- un lien série pour l’adressage des blocs paramé­tra­bles comme les références de ten­sion, les sources de courant de polar­i­sa­tion ou le cir­cuit d’adressage ligne / colonne du multiplexeur.

 

Cet ASIC, réal­isé en tech­nolo­gie stan­dard BiC­MOS SiGe 0,35 µm d’Austria MicroSys­tem (AMS), ali­men­té sous 3,3 V, affiche une con­som­ma­tion nom­i­nale de 16 mW (quel que soit le nom­bre de colonnes lues) et fonc­tionne à tem­péra­ture cryo­génique de 4,2 K.

Lay­out du circuit Puce issue de la fonderie

Conception à température Cryogénique

Le cir­cuit SQMUX128 est basé sur une tech­nolo­gie com­mer­ciale stan­dard BiC­MOS SiGe 0,35 µm d’AMS  (Aus­tria Microsys­tem) garan­tis­sant un process sta­ble et reproductif. 

Cepen­dant aux tem­péra­tures cryo­géniques les mod­èles de sim­u­la­tions four­nis par les fondeurs n’étant plus valides et faute de moyens et de temps néces­saires pour les dévelop­per, on est con­traint de s’appuyer sur des résul­tats issus d’une phase de car­ac­téri­sa­tion expéri­men­tale préal­able de la tech­nolo­gie visée. Cette phase est néces­saire pour pré dimen­sion­ner les cir­cuits et extrapol­er leurs per­for­mances à tem­péra­ture cryo­génique en fonc­tion des résul­tats de sim­u­la­tion obtenus, à tem­péra­ture ambiante, à l’aide des out­ils de CAO stan­dards (cette phase est détail­lée ci-dessous).

Proces­sus de con­cep­tion aux tem­péra­tures cryogéniques

Le choix d’une tech­nolo­gie com­mer­ciale stan­dard garan­tit un process sta­ble et une repro­ductibil­ité des per­for­mances d’un run à l’autre. Par ailleurs, les tran­sis­tors bipo­laires à hétéro­jonc­tion Sili­ci­um Ger­ma­ni­um (SiGe) et par voie de con­séquence les tech­nolo­gies BiC­MOS SiGe sont par­ti­c­ulière­ment prédis­posées aux appli­ca­tions cryo­géniques. En effet, les HBT (Het­ero­junc­tion Bipo­lar Tran­sis­tors) SiGe présen­tent, à basse tem­péra­ture, des per­for­mances accrues notam­ment en ter­mes de transcon­duc­tance et de gain en courant ce qui rend leur util­i­sa­tion prop­ice aux développe­ments de fonc­tions analogiques comme l’amplification de sig­naux. A con­trario, les tran­sis­tors MOS étant soumis au phénomène de kink‑effect pour des tem­péra­tures T ≤ 30 K, on réservera leur usage essen­tielle­ment à la réal­i­sa­tion des cir­cuits numériques, moyen­nant des pré­cau­tions d’usage au niveau lay­out pour s’affranchir des effets de gel des porteurs.

En con­trepar­tie, les mod­èles de sim­u­la­tion four­nis par les fondeurs n’étant plus valides pour des tem­péra­tures de fonc­tion­nement cryo­géniques et faute de moyens et de temps néces­saires pour les dévelop­per, on est con­traint de s’appuyer sur des résul­tats issus d’une phase de car­ac­téri­sa­tion expéri­men­tale préal­able de la tech­nolo­gie visée. Cette phase est néces­saire pour pré dimen­sion­ner les cir­cuits et extrapol­er leurs per­for­mances à tem­péra­ture cryo­génique en fonc­tion des résul­tats de sim­u­la­tion obtenus, à tem­péra­ture ambiante, à l’aide des out­ils de CAO standards.

Cette méthodolo­gie nous con­traint le plus sou­vent à adopter des topolo­gies de cir­cuit sim­ples et robustes dans le sens où il faut à coup sûr pou­voir prédire et anticiper les dérives éventuelles des prin­ci­paux paramètres comme les points de fonc­tion­nement, le gain, la bande pas­sante, la marge de phase pour les sys­tèmes contre‑réactionnés, etc…

Ain­si, à titre d’exemple, l’amplificateur bas‑bruit implé­men­té dans l’ASIC “SQMUX128” est con­sti­tué d’un étage dif­féren­tiel à charges résis­tives (RL) pour lequel les points de fonc­tion­nement et les per­for­mances sont déter­minés sans ambiguïté à par­tir des résul­tats de car­ac­téri­sa­tion en tem­péra­ture col­lec­tés préalablement.

L’expression du gain en ten­sion dif­féren­tiel est don­née par :

AVD » ‑gm×RL

Sachant que de 300 K à 4,2 K on béné­fi­cie d’un accroisse­ment d’un fac­teur 5 de la transcon­duc­tance gm des tran­sis­tors bipo­laires pour la tech­nolo­gie considérée :

gm(T) = α(T)×IC/26 mV où 26 mV = VT = kT/q à T = 300 K

α(T) étant le paramètre d’ajustement en tem­péra­ture, déter­miné expérimentalement :

α(T = 300 K) » 1 et α(T = 4,2 K) » 5

L’ajustement de la valeur du gain con­siste donc à déter­min­er IC et RL tout en prenant en compte l’évolution de α(T) pour un fonc­tion­nement à une tem­péra­ture T donnée.

Par ailleurs, la DSP équiv­a­lente de bruit en ten­sion, ramenée en entrée, dans la zone de bruit blanc est :

La con­tri­bu­tion des deux pre­miers ter­mes est min­imisée en met­tant un grand nom­bre de tran­sis­tors con­sti­tu­ant la paire dif­féren­tielle en par­al­lèle pour réduire la valeur de la résis­tance de base intrin­sèque Rbi glob­ale. L’optimisation des per­for­mances en bruit con­siste alors à déter­min­er IC et RL pour min­imiser la con­tri­bu­tion pré­dom­i­nante des deux derniers ter­mes. Un fonc­tion­nement à basse tem­péra­ture con­tribue intrin­sèque­ment à une diminu­tion du bruit blanc.

Une fois fon­du et avant d’être inté­gré dans la chaîne de lec­ture de l’instrument pour lequel il a été dévelop­pé, l’ASIC a été testé fonc­tion­nelle­ment et car­ac­térisé qual­i­ta­tive­ment. Ain­si, con­cer­nant l’amplificateur bas‑bruit inté­gré, de 300 K à 77 K, le gain en ten­sion mesuré passe de 20 V/V à 70 V/V et la ten­sion de bruit blanc dimin­ue de 0,95 nV/√Hz à 0,25 nV/√Hz.

 

Spec­tres de ten­sion de bruit ramenés en entrée de l’amplificateur mesurés à 300 K et 77 K

Validation de la chaine de détection

Les tests de val­i­da­tion de la chaîne de détec­tion QUBIC ont été réal­isés sur un sous‑ensemble cor­re­spon­dant à un quart de plan focal de l’instrument assem­blé dans un cryo­stat à dilu­tion de l’APC. L’ensem­ble du proces­sus de val­i­da­tion est détail­lé ci-dessous avec les prin­ci­paux résultats.

Proces­sus de val­i­da­tion du cir­cuit SQMUX128

La matrice de 256 TES, réal­isée au CSNSM et à l’IEF d’Orsay, est refroi­die à une tem­péra­ture de 100 mK. L’électronique de lec­ture asso­ciée est con­sti­tuée d’un pre­mier étage à SQUID (préam­plifi­ca­teur tran­sim­pé­dance cryo­génique ultra‑bas bruit). A chaque TES est asso­cié un SQUID (puce de la com­pag­nie améri­caine STAR­Cryo), au total, 256 SQUID refroidis à une tem­péra­ture de 1 K sont donc néces­saires pour la lec­ture d’un quart de plan focal. Les ASIC que nous dévelop­pons per­me­t­tent la mise en œuvre du mul­ti­plex­age tem­porel de 128 SQUID. Les tests de val­i­da­tion ont donc été réal­isés en util­isant 2 ASIC “SQMUX128” placés sur l’étage à 77 K de la dilution.

Le sys­tème d’acquisition et de con­trôle à tem­péra­ture ambiante (cartes “NetQuiC”), sous la respon­s­abil­ité de l’IRAP (Toulouse), regroupe l’ensemble des fonc­tions néces­saires à la numéri­sa­tion et au traite­ment du sig­nal mul­ti­plexé ain­si que la généra­tion des sig­naux utiles pour la ges­tion des cir­cuits fonc­tion­nant à tem­péra­ture cryo­génique. L’IRAP a égale­ment dévelop­pé l’interface soft­ware (logi­ciel “QUBIC Stu­dio”) pour le con­trôle du mul­ti­plexeur, l’acquisition des don­nées et leur visualisation.

Des tests fonc­tion­nels prélim­i­naires ont tout d’abord per­mis de valid­er l’architecture glob­ale de la chaîne de lec­ture avec un taux de mul­ti­plex­age tem­porel effec­tif jusque‑là jamais atteint de 1:128 par voie de mesure. Cette chaîne de lec­ture a été ensuite mise à con­tri­bu­tion pour la car­ac­téri­sa­tion des matri­ces de TES.

Les TES sont polar­isés à ten­sion con­stante pour béné­fici­er de la contre‑réaction élec­trother­mique (Elec­trother­mal Feed­back ou ETF) et tra­vailler à puis­sance min­i­male (Pmin) con­stante. Un relevé automa­tique des car­ac­téris­tiques I‑V et P‑V est réal­isé pour chaque TES à dif­férentes tem­péra­tures de bain sous la TC (tem­péra­ture cri­tique). A par­tir de ces mesures, on reporte sur un graphe l’évolution de Pmin en fonc­tion de la tem­péra­ture de bain. Un ajuste­ment de cette courbe per­met alors d’extraire les paramètres, notam­ment la con­duc­tance ther­mique G, néces­saires à l’estimation du NEP (Noise Equiv­a­lent Pow­er) de chaque TES.

En repro­duisant cet exer­ci­ce sur une ving­taine de TES aléa­toire­ment dis­tribués sur une matrice de 256 pix­els (P41) on obtient l’histogramme de Pmin de tous les pix­els testés pour une tem­péra­ture de bain de 350 mK. L’histogramme de G donne une valeur moyenne de 106 pW/K. On en déduit, en pre­mière approx­i­ma­tion, la dis­tri­b­u­tion du NEP avec une valeur moyenne de 2,6 ×10‑17 W/√Hz à 350 mK. Cette valeur est pleine­ment com­pat­i­ble avec les besoins de l’instruments QUBIC (NEP  5 ×10-17 W/√Hz).

Inté­gra­tion d’un quart de plan focal de l’instrument QUBIC Inter­face du logi­ciel “QUBIC Studio”

Mesures et résul­tats issus de cette validation

Depuis, d’autres matri­ces ont pu être testées avec suc­cès à l’aide de cette même chaîne de lec­ture mul­ti­plexée en vue de sta­bilis­er le procédé de fab­ri­ca­tion des TES. Cette chaîne de lec­ture con­stitue à présent un out­il de car­ac­téri­sa­tion et de sélec­tion des matri­ces de bolomètres des­tinées à équiper le pre­mier mod­ule de l’instrument QUBIC.

L’ex­per­tise acquise par l’APC dans la con­cep­tion d’ASIC pour la mise en œuvre de mul­ti­plexeurs à SQUID pour le read­out de grandes matri­ces de TES est recon­nue inter­na­tionale­ment. Le pro­jet spa­tial ATHENA de l’ESA (Euro­pean Space Agency) a retenu cette exper­tise pour le développe­ment de l’ASIC de la chaîne de lec­ture WFEE de l’instrument X‑IFU

Directeur de la publication

Antoine Petit

Directeur de la rédaction

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Responsable éditoriaux

Rémi Cornat

Webmaster

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